半导体晶圆温度控制器
简要描述:与自来水冷却方式相比,Huber Unichiller 系列制冷器提供更高效率,提供稳定的压力和传递性能,以及恒定的冷却水温度。降低水耗量,保护环境,降低操作成本。半导体晶圆温度控制器适用于化学反应中散热,制冷技术设备,以及实验室集中冷却水供应。 适用于在高达 +40°C的环境温度下连续工作。选择露天保护和冬季操作模式,可以即将其放在户外使用。
产品型号: Unichiller 060T-H
所属分类:半导体温控
更新时间:2023-10-24
详细说明:
与自来水冷却方式相比,半导体晶圆温度控制器提供更高效率。提供稳定的压力和传递性能,以及恒定的冷却水温度。降低水耗量,保护环境,降低操作成本。适用于化学反应中散热,制冷技术设备,以及实验室集中冷却水供应。 所有Unichillers 适用于在高达 +40°C的环境温度下连续工作。选择露天保护和冬季操作模式,可以即将其放在户外使用。扩展泵压力和流量可以应用于高压降。
半导体晶圆温度控制器参数: |
一般信息和温度控制器 |
温度范围 |
-20...100 °C |
温度稳定性 |
±0,2 °C |
控制器 |
Pilot ONE (E-grade "Basic") |
安全等级 |
III / FL |
保护级别 |
IP20 |
外形尺寸 (宽 x 长 x 高) |
600 x 692 x 1613 mm |
重量 |
228 kg |
加热/制冷功率 |
加热功率 |
2 kW |
制冷功率 |
15 |
0 |
-10 |
-20 |
°C |
6 |
5 |
2,8 |
1,4 |
kW |
|
制冷方式 |
air-cooled |
制冷剂 |
R449A (A1, H280) |
循环泵 |
压力泵大值 |
80 l/min ; 5,6 bar |
泵连接螺纹尺寸 |
G1 1/4 AG male |
连接件 |
Pt100连接件 |
Pt100 |
数字接口 |
RS232, Ethernet, USB Device, USB Host |
操作数据 |
允许的环境温度 |
5 ...40 °C |
小填充体积 |
5 L |
膨胀容器填充体积 |
7,5 L |
电源 |
400V 3~ 50Hz * |
|